EDX 2000A全自動微區(qū)膜厚測試儀是天瑞儀器股份有限公司集多年X熒光膜厚測量技術(shù),專門研發(fā)的一款上照式膜厚測試儀。相比于傳統(tǒng)的鍍層測厚設(shè)備,不僅在常規(guī)的傳統(tǒng)電鍍上表現(xiàn)更加優(yōu)異,更能很好地滿足半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。儀器外觀簡潔大方,通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動 , 雙激光定位和保護系統(tǒng) , 實現(xiàn)對平面 、 凹凸 、 拐角 、 弧面等各種簡單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進行快速對焦精準(zhǔn)分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
電鍍行業(yè)
電子通訊
航天新能源
五金衛(wèi)浴
電器設(shè)備
汽車制造
磁性材料
貴金屬電鍍
高校及科研院所等
設(shè)計亮點
上照式設(shè)計,可適應(yīng)更多異型微小樣品的測試。
全新的光路,更短的光程,相較傳統(tǒng)光路,信號采集效率提升2倍以上。
可變焦高精攝像頭,搭配距離補正系統(tǒng),不僅可適應(yīng)微小產(chǎn)品,同時也兼顧了臺階,深槽,沉孔樣品的測試需求。
可編程多點測試,能自動完成對多個樣品多個點的測試,大大提高測樣效率。
自帶數(shù)據(jù)校對系統(tǒng),讓您永遠不再為數(shù)據(jù)突然變化而擔(dān)心。
超高硬件配置
采用進口高分辨率的FAST SDD探測器,高達140ev分辨率,能精準(zhǔn)地解析每個元素的特征信號,針對復(fù)雜底材以及多層復(fù)雜鍍層,優(yōu)勢巨大。
進口的高功率大高壓單元搭配進口大功率X光管,能很好的保障信號輸出與激發(fā)的穩(wěn)定性,同時,故障率也極大的降低。
高精度自動化的X軸,Y軸以及Z軸的三維聯(lián)動,更精準(zhǔn)快速地完成對微小異型(如弧形、拱形、螺紋、球面等)測試點的定位。
軟件界面
人性化的軟件界面,讓操作變得更加便捷。
曲線的中文備注,讓您的操作更易上手。
儀器硬件功能的實時監(jiān)控,讓您的使用更加放心。
電鍍是利用電解的原理將導(dǎo)電體鋪上一層金屬的方法根據(jù)電鍍目的不同,電鍍分為鍍鉻、鍍鋅、鍍銅、鍍鎳等,通常是為了讓產(chǎn)品的表面變得更光滑美觀、或是防止金屬氧化(如生銹)等,有些電路板廠商會在產(chǎn)品表面鍍上銀、銅、金以增加導(dǎo)電性。換言之,電鍍液的質(zhì)量和濃度,對產(chǎn)品來說有根本性的影響,如何準(zhǔn)確又快速的檢測電鍍液的濃度,一直以來都是廠商非常關(guān)心的課題。
化學(xué)鍍(Chemical Plating),也稱為自催化鍍(Autocatalytic Plating)或無電極鍍(electroless plating),由于沉積過程是一種化學(xué)氧化還原反應(yīng),故又稱化學(xué)鍍(Chemical Plating)。在基體表面沉積合金的表面處理,和傳統(tǒng)需使用外部電源的電鍍不同,化學(xué)鍍中最為常用的是化學(xué)鍍鎳-磷合金技術(shù),磷(P)的濃度與(Ni-P)鎳磷鍍層中磷(P)的含量與鍍層軟硬及打線容易程度有關(guān),化學(xué)鍍同時具有鍍層厚度與零件形狀無關(guān),硬度高以及優(yōu)良的耐腐蝕性等優(yōu)點。
不管各種鍍金屬層的方法, 鍍液中的目標(biāo)金屬濃度是最重要的質(zhì)量管控參數(shù), 而撥離或解離的污染元素則是直接影響高階產(chǎn)品良率的重點. 檢驗方法相比起傳統(tǒng)的AA或ICP,使用XRF檢測樣品不需任何前處理,只需要把電鍍液放入樣品杯內(nèi)就能進行測試,且能一次性檢測電鍍液內(nèi)的所有元素, 專做元素的EA 系列因為光徑大, 大光通量因此可以做到高準(zhǔn)確度與低檢測下限, 短測試時間。進行電鍍液內(nèi)的Cr、Zn進行定性定量:
下圖可以看到,Cr和Zn的復(fù)測再現(xiàn)性,均在5ppm內(nèi)。
濃度單位:ppm | Cr | Zn |
---|---|---|
客戶要求濃度 | 3,800~4,000 | 10,100~10,300 |
設(shè)備檢測濃度 | 3,972 | 10,233 |
▲Cr和Zn的XRF圖譜及檢測濃度
XRF除了在性能準(zhǔn)確性上可達到廠商需求,相比起AA、ICP等濕式分析更有以下六大優(yōu)點:
測試速度快:檢測時間快,數(shù)秒內(nèi)可完成檢測,可在短時間內(nèi)進行大量樣品測試
測試再現(xiàn)性佳:不會因不同人員測試同一樣品產(chǎn)生手法差異分析結(jié)果異同,相較濕式化學(xué)分析較受前處理因素
同時分析多元素:一次檢測電鍍液內(nèi)的所有金屬成分,無元素檢測限制。
非破壞性檢測:樣品內(nèi)若有貴重成分,檢測完成后均可回收
無復(fù)雜樣品前處理:不需專業(yè)實驗室與操作人員及復(fù)雜的前處理
檢測濃度彈性:標(biāo)準(zhǔn)液可根據(jù)被測溶液濃度靈活調(diào)整,無固定濃度要求
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